三坐標(biāo)測量機(jī)直接用激光干涉儀等測量單項原始誤差，能以較高的精度檢測到這些誤差值。不足之處，是激光干涉儀價格昂貴、對環(huán)境條件要求高、對操作者的技術(shù)水平的要求也較高。

　　三坐標(biāo)測量機(jī)誤差檢測方法可以分成兩大類：一類是用激光干涉儀等儀器檢測三坐標(biāo)測量機(jī)的各個單項原始誤差;另一類是用球列、球板等實(shí)物基準(zhǔn)檢測檢測三坐標(biāo)測量機(jī)的綜合誤差，然后分解出原始誤差。

　　在分解各項原始誤差時，一項重要基礎(chǔ)是三坐標(biāo)測量機(jī)本身有很好的重復(fù)性。球列、球板等實(shí)物基準(zhǔn)需通過激光干涉儀進(jìn)行檢定，對球板本身的穩(wěn)定性有較高要求。在由綜合誤差分解為單項誤差時，難免有交叉影響，分解得到的原始誤差的不確定度比用激光干涉儀等直接測量要大。再則，一般步距或球間距不易做得很小，不像激光干涉儀可對三坐標(biāo)測量儀的各項誤差進(jìn)行連續(xù)檢測。