尼康三坐標(biāo)測量儀誤差檢測方法可以分成兩大類：一類是用激光干涉儀等儀器檢測尼康三坐標(biāo)測量儀的各個單項原始誤差;另一類是用球列、球板等實物基準(zhǔn)檢測檢測尼康三坐標(biāo)測量儀的綜合誤差，然后分解出原始誤差。

　　在分解各項原始誤差時，一項重要基礎(chǔ)是尼康三坐標(biāo)本身有很好的重復(fù)性。球列、球板等實物基準(zhǔn)需通過激光干涉儀進(jìn)行檢定，對球板本身的穩(wěn)定性有較高要求。在由綜合誤差分解為單項誤差時，難免有交叉影響，分解得到的原始誤差的不確定度比用激光干涉儀等直接測量要大。再則，一般步距或球間距不易做得很小，不像激光干涉儀可對尼康三坐標(biāo)測量儀的各項誤差進(jìn)行連續(xù)檢測。